Cảm biến đo khí bán dẫn PS-7 Cosmos
Xuất xứ: Cosmos - Nhật Bản
Đo nồng độ các khí từ các quá trình sản xuất bán dẫn
Cảm biến đo khí bán dẫn PS-7 Cosmos
- Các cảm biến đã được hiệu chuẩn khi giao đến khách hàng. Các cảm biến chỉ cần kiểm tra Zero và kiểm tra hoạt động sau khi được thay thế, và đã sẵn sàng giám sát nồng độ khí.
- Các cảm biến đã sử dụng được trả lại khi đã được thay thế bằng cảm biến mới để chúng có thể được tái chế.
- Đơn vị cảm biến và đường dẫn khí có thể được thay thế mà không cần dụng cụ.
- Tất cả các bộ phận chức năng là trong các mô-đun để thay thế dễ dàng.
Cosmos hỗ trợ quản lý đáng tin cậy thời gian cho đơn vị cảm biến và thay thế đường dẫn khí.
Cảm biến đo khí bán dẫn PS-7 Cosmos
*1 Teflon được khuyến cáo sử dụng. Nhưng nó phụ thuộc vào điều kiện hoạt động khi khả năng hấp phụ khí cao, vì vậy hãy liên hệ với chúng tôi để biết thêm thông tin. Các thông số kỹ thuật ở trên có thể thay đổi mà không cần thông báo trước.
*2 Chỉ sử dụng với model có pyrolyzer.
*Vui lòng liên hệ với đại diện của bạn cho các loại khí khác ngoài những loại được liệt kê.
https://youtu.be/4_ZWjU0iCzY
Cảm biến đo khí bán dẫn PS-7 Cosmos
- Các cảm biến đã được hiệu chuẩn khi giao đến khách hàng. Các cảm biến chỉ cần kiểm tra Zero và kiểm tra hoạt động sau khi được thay thế, và đã sẵn sàng giám sát nồng độ khí.
- Các cảm biến đã sử dụng được trả lại khi đã được thay thế bằng cảm biến mới để chúng có thể được tái chế.
- Đơn vị cảm biến và đường dẫn khí có thể được thay thế mà không cần dụng cụ.
- Tất cả các bộ phận chức năng là trong các mô-đun để thay thế dễ dàng.
Cosmos hỗ trợ quản lý đáng tin cậy thời gian cho đơn vị cảm biến và thay thế đường dẫn khí.
Cảm biến đo khí bán dẫn PS-7 Cosmos
| Model | PS-7 | |
| Loại tiêu chuẩn | Với một Pyrolyzer | |
| Nguyên lý đo | Pin điện hóa,dây bán dẫn nhiệt, Pin Galvanic | Pyrolysis + pin điện hóa |
| Phương pháp lấy mẫu | loại hấp thụ (Tốc độ lấy mẫu: 0.5L/min, tự động điều khiển) | |
| Ống lấy mẫu*1 | Teflon – Đường kính ngoài: 6mm, Đường kính trong: 4mm, Chiều dài ống: 0 - 20m | |
| Hiển thị nồng độ | 4-số LCD (với đơn vị đo), 20 – thang đo | |
| Hiển thị cảnh báo | Cảnh báo khí (cấp 1 và cấp 2) – Cảnh báo: đèn LED đỏ nhấp nháy LCD – ALARM1 cho cảnh báo cấp 1, ALARM1 và ALARM2 cho cảnh báo cấp 2 Cảnh báo lưu lượng dòng thấp – Dấu hiệu tắc nghẽn: LCD – Dấu hiệu dòng chảy quay chậm – Cảnh báo: Đèn LED vàng nhấp nháy LCD –hiển thị dòng, Dấu hiệu dòng chảy dừng lại Cảnh báo lỗi cảm biến/Cảnh báo cảm biến đầu vào không đúng – Cảnh báo: Đèn LED màu vàng nhấp nháy LCD – SENS. hiển thị dây Pyrolyzer báo cảnh báo *2 – Cảnh báo: Đèn LED màu vàng nhấp nháy LCD – CONV. hiển thị | |
| Đầu ra | – Tín hiệu đầu ra tương tự nồng độ khí: 4-20 mADC (chia sẻ với thiết bị đầu cuối nguồn điện) – Kết nối cảnh báo khí ( Cấp 1st và 2nd): 1a không điện áp kết nối/Non-latching) – Liên hệ báo động sự cố (Mở bộ thu/Non-latching) | |
| Dây cáp sử dụng | 3C hoặc 4C cáp điều khiển được bảo vệ (φ8-11mm) x 2 | |
| Nhiệt độ/ độ ẩm làm việc | 0 đến 40 °C (Không thay đổi đột ngột) 30 đến 85 %RH (Không sương) | |
| Nguồn cấp | 24 VDC ±10% | |
| Công suất tiêu thụ | Xấp xỉ. 7W | |
| Kích thước | W62 X H124 X D143 mm (Không bao gồm tùy chọn và phần nhô ra) | |
| Khối lượng | Xấp xỉ. 1.0kg | |
| Lắp đặt | Treo tường | |
| Chứng chỉ | CE, SEMI (Tiêu chuẩn vật liệu và thiết bị bán dẫn) | |
*2 Chỉ sử dụng với model có pyrolyzer.
Danh sách khí đo (cảm biến)
Khí đo
|
Dải đo
|
Nguyên lý đo
| Model No. |
SiH4
|
5 / 25ppm
|
Electrochemical
|
CDS-7
|
PH3
|
1ppm
| ||
B2H6
|
500ppb
| ||
AsH3
|
250ppb
| ||
H2Se
|
250ppb
| ||
Si2H6
|
25ppm
| ||
SiH2Cl2
|
25ppm
| ||
GeH4
|
1ppm
| ||
NH3
|
100ppm
| ||
HF
|
10ppm
| ||
PF3
|
10ppm
| ||
HCl
|
5 / 25ppm
| ||
HBr
|
10ppm
| ||
F2
|
5ppm
| ||
Cl2
|
5ppm
| ||
ClF3
|
1ppm
| ||
O3
|
1ppm
| ||
CO
|
250ppm
| ||
H2S
|
50ppm
| ||
NF3
|
100ppm
|
điện hóa với
pyrolyzer | |
CCl4
|
100ppm
| ||
H2
|
500 / 1000ppm
|
Dây bán dẫn nhiệt
|
CHS-7
|
O2
|
25vol%
|
Pin Galvanic
|
COS-7
|
Đo khí BÁN DẪN, do khi BÁN DẪN, dò khí BÁN
DẪN, báo rò rỉ khí, báo rò rỉ khí BÁN DẪN, báo rò khí BÁN DẪN, báo rò khí, đầu
đo khí BÁN DẪN, cảm biến khí BÁN DẪN, sensor đo khí BÁN DẪN, sensor báo khí BÁN
DẪN, cảm biến báo khí BÁN DẪN, đầu đo báo khí BÁN DẪN, hệ thống báo khí BÁN DẪN,
hệ thống đo khí BÁN DẪN, hệ thống báo rò khí BÁN DẪN, hệ thống báo rò khí, cảnh
báo rò rỉ khí, cảnh báo rò khỉ khí BÁN DẪN, hệ thống cảnh báo rò rỉ khí BÁN DẪN,
hệ thống đo và cảnh báo rò rỉ khí BÁN DẪN, hệ thống báo rò khí BÁN DẪN, cảm biến
báo rò khí BÁN DẪN, sensor báo rò khí BÁN DẪN, đầu báo rò khí BÁN DẪN, phát hiện
rò khí, phát hiện rò rỉ khí, phát hiện rò rỉ khí BÁN DẪN, hệ thống phát hiện rò
rỉ khí BÁN DẪN, hệ thống phát hiện rò rỉ khí,
Bao ro ri khi, bao ro ri khi BÁN DẪN, bao
ro khi BÁN DẪN, bao ro khi, dau do khi BÁN DẪN, cam bien khi BÁN DẪN, sensor do
khi BÁN DẪN, sensor bao khi BÁN DẪN, cam bien bao khi BÁN DẪN, dau do bao khi
BÁN DẪN, hẹ thong bao khi BÁN DẪN, he thong do khi BÁN DẪN, he thong bao ro khi
BÁN DẪN, he thong bao ro khi, canh bao ro ri khi, canh bao ro ri khi BÁN DẪN,
he thong canh bao ro ri khi BÁN DẪN, he thong do va canh bao ro ri khi BÁN DẪN,
he thong bao ro khi BÁN DẪN, cam bien bao ro khi BÁN DẪN, sensor bao ro khi BÁN
DẪN, đau bao ro khi BÁN DẪN, phat hien ro khi, phat hien ro ri khi, phat hien
ro ri khi BÁN DẪN, phat hien ro ri khi BÁN DẪN, phat hien ro ri khi,
Đo nồng độ khí SiH4,
Đo nồng độ khí PH3,
Đo nồng độ khí B2H6,
Đo nồng độ khí AsH3,
Đo nồng độ khí H2Se,
Đo nồng độ khí Si2H6,
Đo nồng độ khí SiH2Cl2,
Đo nồng độ khí GeH4,
Đo nồng độ khí NH3,
Đo nồng độ khí HF,
Đo nồng độ khí PF3,
Đo nồng độ khí HCl,
Đo nồng độ khí HBr,
Đo nồng độ khí F2,
Đo nồng độ khí Cl2,
Đo nồng độ khí ClF3,
Đo nồng độ khí O3,
Đo nồng độ khí NF3,
Đo nồng độ khí CCl4,
Đo nồng độ khí H2,
Không có nhận xét nào :
Đăng nhận xét